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  3. 漢鐘真空泵專欄
    avril
     
    PS630與PS3002真空泵
    所屬類別: 漢鐘真空泵專欄
    型號:
    推薦度:
    查看次數:           日期: 2012-06-18
    價格: 面議¥
      詳細介紹:
    機型Model
    單位Unit
    PS630
    PS3002
    抽氣速度
    Pumping Speed
    (50Hz/60Hz)
    l/min
    8333 / 10000
    41500 / 50000
    m3/hr
    500 / 600
    2500 / 3000
    cfm
    295 / 353
    1470 / 1765
    終極壓力
    Ultimate Pressure
    Torr
    ≦7.5×10-3
    ≦7.5×10-4
    mbar
    ≦1×10-2
    ≦1×10-3
    Pa
    ≦1
    ≦0.1
    氣冷馬達
    Fan-cooled Motor
    頻率Frequency
    Hz
    50/60
    50/60
    電壓Voltage
    V
    220/380±5%(3Phase)
    220/380±5%(3Phase)
    額定功率
    Rated Power
     hp
    30
    30+15
    kW
    22
    22+11
    連接
    Connection
    進氣口Inlet
     
    ISO100
    ISO200
    排氣口Outlet
     
    ISO63
    ISO63
    冷卻水
    Cooling
    Water
    最低流量Min. Flow
    l/min
    6
    6
    最高壓力       Max. Pressure
    kg/cm2
    4
    4
    壓力差Pressure Dif.
    kg/cm2
    1
    1
    溫度Temp.
    °C
    18~20
    18~20
    接頭Connection
     
    RC 3/8"
    RC 3/8"
    氮氣
    N2
    壓力Purge Pressure
    MPa
    0.05~0.2
    0.05~0.2
    流量Purge Flow
    slm
    130~150
    130~150
    接頭Connection
     
    Swagelok 3/8"
    Swagelok 3/8"
    尺寸Dim.                                 
    長×寬×高L×W×H
    mm
    1831×610×735
    2030×695×1376
    重量Weight
    kg
    1050
    1910
    噪音Noise
    dB(A)
    95(無外罩)
    80(外罩)
    控制介面Control
     
    SEMI E73-0299
    SEMI E73-0299
    系統最大漏率
    System Max. Leak-rate
    mbar.l/s
    1×10-5
    1×10-5
    室溫操作範圍Operation Temp.
    5℃~40℃
    5℃~40℃
    操作溼度Operation Moisture
    RH
    90%以下
    90%以下
    潤滑油
    Lubrication Oil
    商標Brand
     
    Krytox VPF 1525
    Fomblin Y LVAC 25/6
    Krytox VPF 1525
    Fomblin Y LVAC 25/6
    用量Quantity
    L
    3(1.3+1.7)
    3+2.5(1.5+1)
     
     

    特色

    • 螺旋真空泵浦產品特色

      漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果,終極壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。

    • 泵浦溫度控制精準

      漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加真空泵浦的壽命。

    • 密封馬達安全性高

      PS系列真空泵浦亦全面采用專利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免制程氣體外漏的風險。

    • 微電腦控制保護周全

      PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護,十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。 

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