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  3. 漢鐘真空泵專欄
    avril
     
    PS-XX02組合系列
    所屬類別: 漢鐘真空泵專欄
    型號:
    推薦度:
    查看次數:           日期: 2011-04-17
    價格: 面議¥
      詳細介紹:

    干式真空泵

    應用領域:半導體,光電,LED,TFT,制藥,化工,太陽能,真空鍍膜,熱處理等。

    PS系列技術參數表

    機型
    單位
    PS80
    PS160
    PS180
    PS602
    PS902
    PS1302
    PS1802
    抽氣速率
    50Hz/60Hz
     
    L/min
    1300/1600
    2150/2600
    2500/3000
    8300/10000
    12500/15000
    18000/21600
    25000/30000
    m3/h
    80/96
    130/156
    150/180
    500/600
    750/900
    1080/1300
    1500/1800
    cmf
    48/57
    77/92
    88/105
    294/353
    441/530
    580/770
    875/1050
    極限真空
    Torr
    7.5*10-3
    7.5*10-4
    mbar
    1*10-2
    1*10-3
     
    Pa
    1
    0.1
    馬達
    頻率
    Hz
    50/60
    電壓
    V
    220~440
    功率
    Hp
    4
    6
    4+4
    6+4
    6+6
    kw
    2.98
    4.47
    2.98+2.98
    4.47+2.98
    4.47+4.47
    連接
    進氣
     
    NW50
    ISO100
    ISO160
    排氣
     
    NW40
    NW40
    NW40
     
    流量
    L/min
    3~7
    冷卻水
    壓力
    kg/cm2
    2.0~4
     
    溫度
    oC
    18~30
     
    接頭
     
    RC3/8′′
     
    壓力
    kg/cm2
    0.5~1
    氮氣
    稀釋流量
    L/min
    0~60
     
    密封流量
    L/min
    0~20
     
    連接
     
    Swagelok1/4′′
    尺寸L*W*H
    mm3
    814*380*663
    895*405*678
    920*425*650
    814*380*887
    895*405*943
    920*425*957
    920*425*1047
    重量
    kg
    280
    300
    320
    450
    520
    540
    545
    噪音
    dB(A)
    68
    70
    控制界面
     
    SEMI E73-0299
    真空泵最大漏率
    mbar.l/s
    1*10-5
    室溫操作范圍
    oC
    5 oC ~40 oC
    最大操作濕度
    RH
    90%

     

    特色

    • 螺旋真空泵浦產品特色

      漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果,終極壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。

    • 泵浦溫度控制精準

      漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加真空泵浦的壽命。

    • 密封馬達安全性高

      PS系列真空泵浦亦全面采用專利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免制程氣體外漏的風險。

    • 微電腦控制保護周全

      PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護,十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。

     

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